一、概述

    

    KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。

匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性。

   (一)KW- 4A型采用永磁电机,转子用开关电源调速,转速在1000-8000转/分范围内非常稳定.

    (二)匀胶机有两个转速,I速和II速(两转速及相应的时间分别可调)。在甩2英寸以上样片时,启动后先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。在甩小样片时,可将I速时间电位器调到,启动后直接用II速。

   (三)本匀胶机测速采用光电的方法,在光电测速盘的边上有三个缺口,光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时,光电开关的接收器没有信号,当光电盘的反射板(缺口以外的其余部分)转到光电开关上面时,光电接收器便接收到信号产生一个脉冲,光电盘旋转一周,光电接收器便接收到三次信号,因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生,周期为2秒。当电机旋转时,如果计时器在2秒内计得的数是n,则每秒应该转了n / (2×3)=n /6转,每分钟旋转(n/6)×60=10n转。故计数器就是每分钟转速。只不过差一个数量级。

匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间。

在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。

 

二、使用方法

    1.特点是双转速匀胶机,两档转速及其匀胶时间分别连续调节,在启动后先低速运转,经几秒钟后自动转换到高速运转。

    I档转速:4A型500-2000转/分

    I速匀胶时间:2-18秒

    II档转速:4A型1300-8000转/分

    II速匀胶时间:3-60秒

    2.LED数字显示,转数稳定度±1%,胶的均匀性4A型±3%

    3.体积小,重量轻,操作方便。

    4.电机功率:4A型40W

    5.4A型适用于∮5-∮100mm硅片及其它材料等匀胶。

 

三、控制件功能说明

    1.电源开关:控制220V/380V电源的通断。4A型供电~220V。

    2.转速调节钮:调节匀胶转速。

    3.控制:在启动后,定时时间未到,需立即停止而又不能停止吸片,此时只要抬起该键便可停止匀胶。

    4.吸片:按下时吸住片拖上的片子。为避免操作上的错误,“吸片”键及控制键具有联锁功能,不吸片则电机不转。“吸片”键抬起后匀胶也就停止。

    5.启动:启动电机。必须在控制键和吸片键都按下时才能启动运转,否则虽按了启动键仍不能运转。

    6.匀胶时间:调节匀胶时间长短,时间分别控制在1-18秒和3-60秒,其所指刻度与实际时间相近。

    7.电源输入(后):4A型插入为~220V电源线。

    8.保险座(后):4A型安装∮5×20—1A保险管。

9.吸片抽气嘴(后):连接到抽气泵。气泵的抽速为1L/S。

 

四、操作步骤

    1.选择合适的片托(略小于样片尺寸),将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。

    2.开启电源,按下控制键。

    3.调节合适的匀胶时间和转速。转速I为低速,转速II为高速。

    4.放片,注意要放正。

    5.按下吸片键开始抽气。注意在按吸片键之前,转速电位器上的指示灯不应亮。

    6.按启动键,电机旋转,数字稳定后为实际转速,如:1.50即为1500转/分。

    7.滴胶,动作要快些,要在低转速时间内滴胶完毕,然后匀胶机变为高速匀胶。若不知匀胶机是低速还是高速运转,则可以从电位器上的指示灯来判断,黄色为低速,绿色为高速。

    8.数字多圈电位器只用来调节转速,其读数和显示转速不对应,LED显示的读数才是实际转速。当数字无显示时电位器上的读数可供参考。

    9.电机停转后,抬起吸片键,取下片子。

    10.匀胶时间、转速若不合适可随时调节。

11.继续匀胶时重复4-8步。

12.匀胶结束后抬起吸片键、控制键,关断电源。

 

五,注意事项

    1.每次开机前要注意将控制键,吸片键抬起,开启电源后分别按下各键操作,以避免未启动时电机即转动。

    2.不同尺寸的片子选用不同尺寸的片托,厚度在2mm以下的片子选用带吸气槽的片托,厚度大于2mm的片子,选用特殊设计的片托。

    3.所甩样片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右。尤其要注意:如果用大片托甩小的样片就容易产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室的情况,时间久了片托就会被胶粘住而不易取下,造成不必要的维修。

4.如果不慎胶被吸入了抽气室,要立即进行清洗,否则片托、光电盘、电机轴会粘在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。

 

六,清洗

    属下列情况之一时,需要对抽气室进行清洗:

    1.正常使用3个月的;

    2.胶被吸入抽气室的;

    3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。

    清洗的办法是依次取下片托,松开光电盘上的紧固顶丝,(参看抽气室机构图)取下光电盘、上密封环、抽气室、下密封环、弹簧,用脱脂棉蘸酒精或丙酮擦洗干净,再依次装上弹簧、下密封环、抽气室、上密封环、光电盘,旋紧紧固顶丝。

在安装过程中要注意几点:

1.弹簧要放在电机轴的台阶上,否则下密封环压不下去,抽气室放不下去,同时电机轴亦会被卡住。

    2.弹簧片的作用是将下密封环弹起,使其上表面紧贴抽气室的下表面。

    3.下密封环的上表面和内表面,上密封环的下表面和内表面均涂一点真空脂或黄油,一是起润滑作用,二是起密封作用。

4.在安装上密封环可将其先套在光电盘上,套进1mm,不要垂直往轴上安装,这样密封环会掉下去。可将匀胶机某一侧面向下使电机轴成水平方向,然后将套上密封环的光电盘插在电机轴上,这样可保证密封环的下表面紧贴抽气室的上表面。有时根据情况可只拆下光电盘和上密封环进行清洗。